תוצרת המכון - למדנו כיצד ללמוד

 

"תקופת לימודי במכון הייתה התקופה היפה בחיי", אומר ד"ר דני קנדל, מנהל המחלקה למחקר מתקדם של חברת KLA-Tencor ישראל, העוסקת בפיתוח ובייצור של מערכות לבדיקות איכותם של שבבי סיליקון. KLA-Tencor היא ענקית אמריקאית בין-לאומית, והענף הישראלי של החברה ממוקם בשני מוקדים, במגדל העמק וביקנעם.

 

קנדל נולד בקריית אונו. אמנם, הוריו סירבו לשלוח אותו לפעילויות לילדים שוחרי מדע במכון ויצמן למדע, אבל כשהגיע לבית-הספר התיכון, "וכבר הייתה לי שליטה רבה יותר על גורלי", כדבריו, השתתף בקורסי תיכנות באוניברסיטת תל-אביב. אחרי שירות צבאי בנח"ל, כולל השתתפות בהקמת קיבוץ טללים בנגב, והשלמת תואר ראשון בפיסיקה ובמתמטיקה באוניברסיטה העברית, הוא הגיע בסופו של דבר למכון.

 

את עבודת המחקר שלו לקבלת תואר שני בפיסיקה, אשר התמקדה בפיסיקה גרעינית תיאורטית, עשה בהנחיית פרופ' מיכאל קירסון מהמחלקה לפיסיקה של חלקיקים (כיום, המחלקה לפיסיקה של חלקיקים ואסטרופיסיקה). זו, כאמור, הייתה התקופה היפה בחייו. "עבדנו קשה מאוד. הקורסים היו תובעניים במיוחד, אבל אחרי כל העבודה הקשה הרגשנו שאנחנו באמת מצליחים להבין דברים. אין תענוג גדול יותר מאשר להבין עוד משהו על העולם. כל המאמץ, לילות העבודה, המתח – כל אלה נעלמו מתחת לגלי הסיפוק ששטפו אותנו ברגע שהשגנו תובנה חדשה".

 

את לימודי הדוקטורט (פיסיקה סטטיסטית) עשה בהנחיית פרופ' איתן דומאני במחלקה לפיסיקה של מערכות מורכבות. בין לבין התחתן עם דיצה אברבוך, גם היא דוקטורנטית במכון, מקבוצת המחקר של פרופ' איתמר פרוקצ'יה. בהמשך נולדו להם שלושה ילדים. הוא ביצע מחקר בתר-דוקטוריאלי באוניברסיטת מרילנד ובאוניברסיטת הרווארד, וחזר למכון כחוקר בכיר במחלקה לפיסיקה של מערכות מורכבות.

 

אבל האפשרות לביצוע מחקר מדעי מתוך מימשק קרוב יותר לתעשייה משך אותו, והוא הצטרף למחלקת המחקר והפיתוח של חברת KLA-Tencor ישראל במגדל העמק. "אומרים לנו שקצב המיזעור של התקנים אלקטרוניים יואט, ואולי אף ייפסק", הוא אומר, "אבל בינתיים, משנה לשנה נעשים ההתקנים שהתעשייה מייצרת קטנים יותר וצפופים יותר, דבר שמציב אתגר משמעותי בפני מי שבודק את איכות המעגלים המשולבים ואת אמינותם. הדיוק הנדרש כיום הוא ברמה של פחות מננומטר אחד".

 

כיום, כשהוא כבר עומד בראש מחלקת המחקר המתקדם של הענף הישראלי של החברה, שומר ד"ר קנדל על קשר מתמיד, הן עם מדעני המכון והן עם חבריו לספסל הלימודים במכון. "הלימודים במכון היו, בשבילי ובשביל חברי, חוויה מכוננת. למדנו כיצד ללמוד, כיצד לבצע מחקר, איך לשאול שאלה, איך לנסות לענות עליה. אם אתה יודע את זה, השמיים הם הגבול. אם תעשה את זה נכון, תוכל לעשות כל דבר, ולהמציא כל דבר שתרצה".

 

 

בדיקת איכות של שבבי סיליקון היא אתגר מורכב, במיוחד כשמערכות הבדיקה מבוססות על גלים של אור נראה, שאורך הגל שלו יכול להיות, לכל הפחות, 250 ננומטרים. מדובר בכלי "גס" למדי ביחס למדידה שהוא נדרש לבצע (עובי של קו בודד בשבב סיליקון מודרני הוא כ-20 ננומטרים בלבד) – כמעט כמו שפיל יתבקש לחוש בגרגר חול בודד מתחת לכף רגלו. המערכת של KLA-Tencor משתמשת במישרין ובעקיפין בטכניקות אופטיות שונות, ובהן דימות ומדידה של פיזור אור מהחלק הנמדד. תוצאות המדידות מעובדות באמצעות מערכות תוכנה, גם הן מבית היוצר של החברה.